我司代理日本LINTEC、KOFLOC产品的

高性能质量流量控制器，液体流量控制器（MFC），气化器。 
用于PVD设备，CVD设备。

特点：可对应大流量， 支持EtherCAT通信。

产品例：

EtherCAT一液体质流控制器

LC-5000C Series

MC-3000L 系列

VU-450 系列

PI Mass Flow Controller

MODEL ST-500 系列