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ALD/CVD成膜材料
- 基于20多种元素的60多种前驱体材料,适用于各种薄膜用途。
- 硅系:3MS、BTBAS、3DMAS、etc.
- 金属系:TDMAT、TBTEMT、TEMAZ
- New La/Mo/W/Ru/Y etc. Precursors
如需上述清单以外的成膜或清洗材料,欢迎咨询。
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