ALD/CVD成膜材料

  • 基于20多种元素的60多种前驱体材料,适用于各种薄膜用途。
  • 硅系:3MS、BTBAS、3DMAS、etc.
  • 金属系:TDMAT、TBTEMT、TEMAZ
  • New La/Mo/W/Ru/Y etc. Precursors

 

如需上述清单以外的成膜或清洗材料,欢迎咨询。