SPRON510 金属膜片
　SPRON510 金属膜片具有高耐腐蚀性、高密封性和高耐用性，可以满足大部分半导体制造设备对金属膜片的需求。

1、高耐腐蚀性
SPRON510 是一种 Co-Ni-Mo 合金。这种合金不含铁(Fe)、所以具有高耐腐蚀性和高机械强度。

2、高密封性
对金属膜片进行的抛光处理可以减少表面的微小不规则、从而减少气体通过的缝隙。
在 SII，可抛光至 Ra0.03μm 或更低。在半导体制造设备中使用的阀门可以达到很高的密封性能。

3、高耐用性
通过高材料强度和高成型技术，耐用性可以达到 1 亿次循环。