气体过滤器

陶瓷气体过滤器

通过具有高过滤精度和高耐腐蚀性的陶瓷过滤器，

高效去除气体管道系统中的颗粒，同时实现高选择性。

（可在200℃的高温下烘烤，从而将过滤器脱气后的H₂O浓度降低到5ppb以下）

哈斯合金气体过滤器

采用哈氏合金材料制成的所有部件，包括滤芯，具有极低的压损，并且体积小巧，可以处理更高流量的气体。

金属气体过滤器

采用SUS316L材料制成的所有部件，包括滤芯，在实现紧凑设计和高过滤精度的同时，还具备高耐热性（460℃）。

这是一款用于超大规模集成电路（ULSI）制造的高性能气体过滤器。